安装条件

主要参数

1. 真空腔规格：316不锈钢腔体，12寸以下兼容

2. 电极：平板气浴电极

3. 电源：频率13.56MHz，功率可调

4. 真空系统：极限真空度10 -1Pa

5. 气路系统：标准配置2路，精密玻璃转子流量计30~300ml

6. 控制方式：7寸工业触摸显示屏，手动和自动两种控制方式

7. 时间设置：0-99.99min

8. 工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体

9. 整机重量：40Kg

10. 备注：可按客户需求定制设计

11. 可按客户需求定制设计:单相真空泵和取片器

12. 是否定制:YSE

序号

名称

数量

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1

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功能类别

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