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安装条件 |
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主要参数 |
1. 上料/Load port：手动 2. 参数/Recipe：50 Sets ② 20 Steps per Recipe 3. 尺寸/Substrate Size：Up to 20”方片或异性片 4. 转速/Rotation：10 ~ 2000 rpm 5. 控制系統/Control System：PLC / PC based 6. 加速度：Max. 1,000rpm/sec 7. 转速精度：≤±1rpm 8. 时间设定：0 – 10,000 sec 9. 自动盖子:选配 10. 滴胶方式：选配 |
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