RCM-75D桌上型旋转涂布机_辽宁锐鑫科研技术有限公司

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RCM-75D桌上型旋转涂布机

产品型号：

RCM-75D

咨询电话：13889391698

技术支持：13889391698

安装条件

主要参数

1. 晶圆尺寸：Up to Ф75mm wafer

2. 腔体尺寸：Ф150mm

3. 转速：≤8000RPM

4. 精度：±1RPM

5. 加速度：≤10000RPM/S

6. 时间：1-3000S

7. 控制方式：文本显示

8. 电机功率：100W

9. 编程：6组6段

10. 尺寸：290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)

11. 配置:吸盘一套（10mm、25mm、2英寸）

无油真空泵一台

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