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RCM-300F
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安装条件 |
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主要参数 |
1. 晶圆尺寸：Up to Ф300mm wafer 2. 转速：≤5000RPM 3. 精度：±1RPM 4. 加速度：≤10000RPM/S 5. 时间：1-999.9S 6. 控制方式：7寸触屏+PLC 7. 电机功率：1500W 8. 编程：50组20段 9. 滴胶系统：针筒式滴胶一路（50ml)对中、背洗、去边等 10. 配置:吸盘一套（4、6、8英寸） 无油真空泵一台 FFU、排风、黄光灯等 |
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