RCM-150T-B桌上型旋转涂布机_辽宁锐鑫科研技术有限公司

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RCM-150T-B桌上型旋转涂布机

产品型号：

RCM-150T-B

咨询电话：13889391698

技术支持：13889391698

安装条件

主要参数

1. 晶圆尺寸：Up to Ф150mm wafer

2. 腔体尺寸：Ф280mm

3. 转速：≤10000RPM

4. 精度：±1RPM

5. 加速度：≤10000RPM/S

6. 减速度：≤5000RPM/S

7. 时间：1-999.9S

8. 控制方式：7寸触屏+PLC

9. 电机功率：200W

10. 编程：50组20段

11. 尺寸：470mm(W)x 450mm(D) x 320mm(H)

12. 配置:吸盘一套（2、4、6英寸）

无油真空泵一台

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