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RCM-800
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安装条件 |
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主要参数 |
1. 上料/Load port：手动 2. 参数/Recipe：50 Sets ② 20 Steps per Recipe 3. 尺寸/Substrate Size：Up to 12 4. 转速/Rotation：10 ~ 3000 rpm 5. 控制系統/Control System：PLC / PC based 6. 转速精度：±1rpm 7. 控制系統/Control System：PLC / PC based 8. 管路:三路（显影液，水，气） 9. 显影液温度控制：Option 10. 机械摆臂：YES 11. 液位报警:YES |
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