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安装条件 |
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主要参数 |
1. 晶圆尺寸：Up to Ф150mm wafer 2. 溫度范围：室温-300℃ 3. 均匀性：≤±1.5% 4. 控温精度：±0.2℃ 5. 面板材质：铝合金镀陶瓷 6. 时间：1-9999S 7. 控温方式：PID 8. 功率：700W 9. 显影控温：上位机软件 10. 面板尺寸:160*160mm 11. 重量:4.5KG 12. 外观尺寸:250（W)*180（D)*115(H)mm |
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