安装条件

本设备要求在海拔2000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。

2、气：不需要

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

项目/Item

规格/Specification

基板承盘

适用基板尺寸: 碎片- 6”

光阻黏度系数:1000cp 以内

基本规格

设备尺寸：宽470mm*深450mm*高320mm(MSC-150T-B)

设备尺寸：宽360mm*深410mm*高340mm(MSC-150T-N)

外观:本体为不锈钢板,腔体材质：pp

排放管路系统置于机台背部

机台支脚具高低调整功能

电控系统

软件: PLC 可程序自动化控制器

操作接口: Color 5.7＂Touch Screen

PLC 接口整合HMI

制程/维修/警示/编辑/配方，皆可从操作屏幕上修改

可依客户需求条件撰写编辑，并可结合自动存取

储存能力

记忆模块30组配方设定

段数设定:每一配方模块均设15段数，每一段数均可设定加速度及时间控制

密码设定:可依权限设定密码保护

旋转时间设定：15–10000 sec (PLC 上设定及显示)

应用程序

人工放置基板->启动真空吸附->基板吸附于转盘上 ->旋转开启->低转速->中转速->高转速->旋转停止->破真空->人工取件。

尺寸/ Dimensions  

内腔：直径280mm ,晶圆表面到盖子直径：36mm

功能

规格

盆 罩

材质 : PP盆罩设计。

吸 盘

材质 : 铝制吸盘阳极硬化处理

吸盘表面平坦度10um 以内。

外型: 圆盘型式。

免键轴套与 spin motor 主轴间接連结

数量: 吸盘2、 4、6 吋一组。

旋转主轴

SUJ-2 轴承钢 同等级或优于设计级

材质:此钢含有高碳(0.95~1.1%)高铬 (1.3~1.6%)用來做为再三重复的过重的压缩及耐冲击的使用,故具备有耐疲勞性,耐磨耗性,耐热性等。

马 达

马达 : AC Servo Motor。

马达转速 : Max.10~10000rpm(MSC-150T-B)（带负载）

马达转速 : Max.10~6000rpm(MSC-150T-N)（带负载）

功率：400W

精确度 : ±1rpm

加速度 : Max1,0000rpm/sec（带负载）

真空帮浦:

无油式真空压力泵浦, 壹组。

其他：

工程界线

电源及排放光阻等至机台出口以后部份衔接工程，请买方负责衔接。

厂务设施需求

以下为6吋COATER厂务端所须之条件请买方配合提供。

Voltage (AC): 220V 50/60Hz

设备交货、安装及验收 

1、交货地点为买方所在地即____；交货程序完成前之任何费用（包括但不限于运费、仓储费）及任何损失概由卖方完全承担，经买方签署交货项目内容之书面资料，卖方始完成交货程序。

2、 买方提供其器材及工程：

．码头至定位搬运由买方提供。

．全部配电用电缆、开关及一切达到可试車之各项供电设备与气压设备等。

．试车所需之材料。

3. 机台到货需检附以下文件：

a.Package list，到货项目需与列表相符，而列表须与采购合约相同。

b.出厂验机报告

4. 交货项目内容采电子文件：

．设备系统本体及其附属品。

．电力系统接线图、设备三视图、管路图等相关图面。

．操作手册。

．维修手册。

．输入/输出接点说明图。

5. 买方需于交机两周内完成厂务端衔接。

   卖方需于交机四周内完成机台安装。

6. 机台验收以本规范内所标示之项目为依据，所有项目均需合格。

验收规格

1、厂验相关规范

客户保留工厂测试验收的权利，以确定机台符合以上规格需求;

客户有权利要求机台必须修正所有与规格不符合的问题点才能进行交货.

2、于设备交机后，若各项机构可满足最终规格时，应于设备安装试車完成后，书面通知

买方进行验收测试日期。有关各项规格书未记载事项或特别要求之验收条件，依双方共同充份协商后所同意之方式处理。

设备保固

1.所有机台上新增或修改部分，其保固年限于采购合约中明定规范,需一年。

本设备、零件保固期为自验收日起算12个月内或交机后15个月内。

2.机台供货商应提供一固定人员作为维修服务之窗口，并于保固期间提供免费之问题排除。

3.在保固期间，若于设备之制造不良、过失等引起之故障，概需免费提供修理，更换零件。

4.以下之状况不属于保固期内：

．由操作人员之过失所造成之损害。

．消耗品(直接接触式Sensor、其他动作部份等)

．交货后自行变更控制程序及变更药液等。

．设备内使用非本公司之生产零件，依制造原厂的规范处理。

．自行换装非原规格产品而造成设备之损坏。

教育训練及维修服务

厂商应提供完整在厂教育训练

2. 机台教育训练课程应包含以下内容：

a.机台基本操作

b.机台架构介绍

c.机台运作原理

d.机台保养及故障排除

3. 卖方须提供买方及直接使用者关于本设备之咨询服务。

序号

名称

数量

图片链接

1

2

序号

名称

功能类别

图片链接

1

2