GSL-1100-JS-16单靶离子溅射仪_辽宁锐鑫科研技术有限公司

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GSL-1100-JS-16单靶离子溅射仪

产品型号：

GSL-1100-JS-16

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依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层均匀纯净。

l简单、经济、可靠、外观精美。

l可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小，颗粒大小约4-20nm。

lSETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

l真空保护可避免真空过低造成设备短路。

l同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

l通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

安装条件

主要参数

1.主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

2.靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（标配）

4.样品室：玻璃腔体160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm

6.真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.电流：50mA

8.定时器：数码计时0-999S

9.微型真空气阀：可连接φ3mm软管

10.可通入气体：多种

11.电压：-1600 DCV

12.机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

13.速率：0--10nm/min

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