安装条件

选择一个合适的仪器摆放位置：

1. 放置GSL-1100-JS-260高真空磁控镀膜仪在一个长130cm,宽60cm的平面桌子上（桌子的承重需要在200KG以上）；

2. 放置“外置 旋转机械真空泵”及“冷水机”在一个合适的位置（地面 / 靠近镀膜仪主机）；

3. 系统总重量（镀膜仪、电器柜、选装泵、冷水机）约为208~240KG（选配不同），请确保有4人一起移动 / 搬运仪器；

4. 仪器的使用 / 运行环境温度为15~25摄氏度，相对湿度不超过75%；

5. 为仪器提供一个220V，16A的空开。

6. 确保使用 / 运行环境有足够的通风，并且避免阳光直接照射到仪器。

7. 氩气和氩气瓶解压阀需自备。

主要参数

1. 仪器主机尺寸:长610mm×宽420mm×高220mm（注：含腔体总高490mm）  

2. 工作腔室尺寸：金属腔体：直径260mm×高270mm（外尺寸 ）          

                           直径210mm×高270mm（内尺寸）             

3. 靶头：标配：单靶                                                

         选配：双靶                                                    

4. 靶材尺寸：直径50mm×厚3mm（因靶材材质不同厚度有所不同）     

5. 靶材料： 标配一块直径50mm×3mm的铜靶                        

6. 靶枪冷却方式：水冷                                                

7. 靶头工作方式：各靶可独立/共同工作，采用磁控靶从上向下溅射镀膜；     

8. 真空系统：分子泵+直联高速旋片式真空泵，抗冲击涡轮分子泵，抽速为 300L/s              

9. 极限真空度: 5×10-5Pa（10分钟可到5×10-3Pa）                     

10. 电源：标配：直流恒流电源：输入电压：220V                        

输出电压：0-600v        

输出电流：0-1.6A                       

选配：射频电源和匹配器一体机：功率500W。               

11. 载样台：可旋转，直径200mm，0-20转/分钟（可调）                     

12. 工作气体： Ar等惰性气体（需自备气瓶及减压阀） 

13. 气路： 气路可以通过电磁流量阀触摸屏与手动阀联动控制。       

14. 水冷：自循环冷却水机                                      

15. 控制系统 ：配置VPI液晶控制系统。可智能控制系统操作。操作简单，人机界面良好。                                     

16. 均匀性 ：靶材均匀度直径50mm内，金属类膜厚均匀度可达±3%    

17. 膜厚仪（选配）： 膜厚仪监控范围0～6000纳米。可监控速率0.001纳米/秒。与触 摸屏程序操作相结合，可联动控制，监测膜厚。  

18. 可镀材料：铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等

19. 电源电压：220V 50Hz                                           

20. 启动功率：3KW 

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