GSL-1100-JS-16多用途溅射蒸碳仪_辽宁锐鑫科研技术有限公司

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GSL-1100-JS-16多用途溅射蒸碳仪

产品型号：

GSL-1100-JS-16M

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溅射功能依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层均匀纯净。

热蒸发功是能通过对碳纤维绳加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺。

l简单、经济、可靠、外观精美。

l可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小（颗粒大小约4-20nm）。

lSETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

l真空保护可避免真空过低造成设备短路。

l同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

l通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

l独立的溅射、蒸发上盖和玻璃腔体防止交叉污染。

l一体机更加经济实惠。

l碳纤维绳更加细腻均匀、快速，更有利于分析材料结构。

l溅射蒸发功能转换方便快捷。

安装条件

主要参数

1.仪器尺寸：主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

2.蒸镀 300mm×360mm×160mm（W×D×H）

3.真空样品室：玻璃腔体 160mm×110mm（D×H）

4.靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

5.溅射靶：二极直流溅射靶（标配）磁控靶（选配）

6.溅射靶材：Au

7.溅射靶材大小：φ50mm

8.样品台：50mm (D)

9.溅射工作电压：0-1600V (DC)可调

10.溅射电流：0-50 mA (磁控0-100mA)

11.溅射定时：0-999S

12.蒸碳电流 0-100A(AC)

13.蒸发材料：碳纤维

14.蒸发工作电压：0-30V

15.蒸发时间：0-1S

16.微型真空气阀：可连接φ3mm软管

17.可通入气体：多种

18.真空泵： 2升机械旋转泵（国产VRD-8）

19.速率：0--10nm/min（磁控0—60nm/min）

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