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依据二极(DC)直流溅射原理。
l同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、银等），以达到更细颗粒的涂层。
l一键式操作，使用方便。
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安装条件 |
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主要参数 |
1.主机规格：260mm×307mm×260mm（W×D×H） 2.电源规格：220V/50HZ 3.靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H） 4.靶材：Au 5.真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 115mm×100mm（D×H） 6.定时器： 最长时间：3600S 7.机械泵： 1L/S 8.电压：-1200 |
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