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GPM-3802
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GPM-3802自动精密研磨抛光机是覆盖半导体材料,光电材料等应用领域的精密磨抛机。主要用于 硅、碳化硅、氮化镓、锑化镓、磷化铟、砷化镓、碲锌镉、碲镉汞、铌酸锂等多种材料芯片的研磨减薄,底面、表面、端面的化学机械抛光等。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。
l研磨抛光机独立可移动式触触摸操控系统;
l可实现晶片端面磨抛及特殊角度制备(需定制);
l可存储工艺菜单;
l可选配多机联控选配功能;
l可选配增至3通道进料系统;
l适用于8英寸及以下尺寸样片;
安装条件 |
本设备要求在海拔2000m以下,温度25℃±15℃,湿度35%~95%下使用。 1、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。 2、气:需要 4、工作台:承重100KG 5、通风装置:不需要 |
主要参数 |
1、磨抛盘转速:10-150转/分钟 2、磨抛盘直径:380mm 3、摆臂频率0-35RPM速度可调节 4、摆臂角度0-25度可调 5、摆臂数量:3工位 6、试样装夹数量:3套 7、试样规格:单个φ110mm(其他规格定制) 8、磨样时间:0-999min 9、加压方式:配重加压 10、载样盘重量:3KG 11、存储工艺菜单:60条 12、耗材安装方式:背胶粘接 13、外形尺寸:≈550mm×600mm×750mm(长×宽×高) 14、主机重量:100Kg |
序号 |
名称 |
数量 |
图片链接 |
1 |
抛光垫 合成革/磨砂革/聚氨酯 |
各1张 |
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2 |
载样盘 |
3套 |
|
3 |
铸铁研磨盘 |
1个 |
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4 |
铝制抛光盘 |
1个 |
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5 |
进水管 |
1根 |
已安装 |
6 |
排水管 |
1根 |
已安装 |
序号 |
名称 |
功能类别 |
图片链接 |
1 |
自动滴液器 |
(可选) |
|
2 |
金相试样电解抛光腐蚀仪 |
(可选) |
|
3 |
手动夹持工装(用于异形件固定) |
(可选) |
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4 |
金刚石悬浮抛光液 |
(可选) |
- |
5 |
氧化铝悬浮抛光液 |
(可选) |
- |
6 |
氧化铈悬浮抛光液 |
(可选) |
- |
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