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GPM-3802自动研磨抛光机
产品型号:

GPM-3802

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GPM-3802自动精密研磨抛光机是覆盖半导体材料,光电材料等应用领域的精密磨抛机。主要用于  硅、碳化硅、氮化镓、锑化镓、磷化铟、砷化镓、碲锌镉、碲镉汞、铌酸锂等多种材料芯片的研磨减薄,底面、表面、端面的化学机械抛光等。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。

l研磨抛光机独立可移动式触触摸操控系统;

l可实现晶片端面磨抛及特殊角度制备(需定制);

l可存储工艺菜单;

l可选配多机联控选配功能;

l可选配增至3通道进料系统;

l适用于8英寸及以下尺寸样片; 

安装条件

本设备要求在海拔2000m以下,温度25℃±15℃,湿度35%~95%下使用。

1、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。

2、气:需要

4、工作台:承重100KG

5、通风装置:不需要

主要参数

1、磨抛盘转速:10-150转/分钟

2、磨抛盘直径:380mm

3、摆臂频率0-35RPM速度可调节

4、摆臂角度0-25度可调

5、摆臂数量:3工位

6、试样装夹数量:3套

7、试样规格:单个φ110mm(其他规格定制)

8、磨样时间:0-999min

9、加压方式:配重加压

10、载样盘重量:3KG

11、存储工艺菜单:60条

12、耗材安装方式:背胶粘接

13、外形尺寸:≈550mm×600mm×750mm(长×宽×高)

14、主机重量:100Kg

 

序号

名称

数量

图片链接

1

抛光垫

合成革/磨砂革/聚氨酯

各1张

 

 

2

载样盘

3套

 

3

铸铁研磨盘

1个

 

4

铝制抛光盘

1个

 

5

进水管

1根

已安装

6

排水管

1根

已安装

 

序号

名称

功能类别

图片链接

1

自动滴液器

(可选)

 

2

金相试样电解抛光腐蚀仪

(可选)

 

3

手动夹持工装(用于异形件固定)

(可选)

 

4

金刚石悬浮抛光液

(可选)

-

5

氧化铝悬浮抛光液

(可选)

-

6

氧化铈悬浮抛光液

(可选)

-

 

 

 

 

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