产品名称

RXT16430 磨抛机 震动磨抛机

安装条件

本设备要求在海拔2000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、电:AC220V 50Hz，必须有良好接地。

2、气:不需要

4、工作台:尺寸600mmx600mmx700mm，承重50kg以上

5、通风装置:需要

技术参数

1、为实现化学研磨抛光等各种复杂的工艺，设备支持多通道进料系统同时工作。料桶具有搅拌功能，并且转速可在控制面板上设置，滴料方式采用蠕动泵控制滴料，滴料速度0-200CCM实现精确控制。

2、研磨抛光盘运行由主驱动控制，转速从每分钟0转到120转可以调节。这个速度变化范围有效保证磨抛不同硬度和大小材料样品的速率，从而实现更高的工艺指标。研磨盘与抛光盘的更换简单快捷，嵌入式盘，使设备迅速从研磨工艺转到抛光工艺，大幅缩短工艺时间。并且研磨盘配置匹配的修盘块，以确保研磨盘具有良好平整度。

3、为确保晶圆样品的稳定性，夹具固定在配有独立驱动系统的半月形独立摆臂上，转速范围0-120RPM可调，同时摆臂具有摆动功能，摆幅范围0-10

0%可以调节，摆动幅度和摆动频率在控制面板上实时显示，并且能够精准设置参数。这一功能设计，既可以保证研磨抛光过程中实现样品的全摆动抛光，又大大提升了设备的抛光产能及效率。

4、电 源:220-240V10A110V10A 50-60HZ

5、晶圆尺寸:4”X1/2/36”X1/2 8”X1

6、盘直径:300MM/420MM/550MM

7、盘转速:0-100RPM/0-120RPM/O-200RPM

8、夹具转速:0-100RPM/0-120RPM

9、工作时间:0-10小时

10、进料通道:≥3进料通道

序号

名称

功能类别

图片链接

1

RX精密夹具

适用于半导体材料和光电材料的研磨和抛光，夹具采用高强耐腐蚀材料，适用于光纤端面或晶体端面抛光。晶圆磨抛夹具适用于3英寸、4英寸、6英寸、8英寸及同等尺寸异形样品，向下兼容样品尺寸

2

RX精密夹具、夹具驱动环、磨抛盘、修盘块

作为RX磨抛设备的重要备件组成部分，我们采用高强耐腐 蚀材料，更换方便，大大延长了备件总体使用寿命，降低备件的使用成本。

序号

名称

功能类别

图片链接

1

自动滴液器

（可选）

2

金相试样电解抛光腐蚀仪

（可选）

3

手动夹持工装（用于异形件固定）

（可选）

4

金刚石悬浮抛光液

（可选）

-

5

氧化铝悬浮抛光液

（可选）

-

6

氧化铈悬浮抛光液

（可选）

-