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超大工作台半导体检测显微镜RXW-12R
产品型号:

RXW-12R

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全新的RXW-12R半导体 \FPD 检查显微镜,支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

l仰角可调观察筒

0-35°观察角度可调,适合不同身高的用户,降低了对工作环境的要求,让不同的使用者都能找到的观察角度,减轻了长时间工作带来的不适与疲劳,大幅度提高工作效率。

l全新离合驱动式载物台

RXW-12R采用离合式手柄,用户按下离合扳手就可灵活移动平台,无需长时间捏紧手柄;按下离合按钮,取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象,并加快观察速度。 RXW-12R 引入精密导轨传动机构,移动更轻更顺畅,产品更加稳定可靠。

l安全、高速的电动式物镜转换器

设有前进、后退两档切换模式,可快速、精确定位到所需要的观察倍率,重复定位精度高。机械式的切换模式,有效提升了转换器的使用寿命。

l按键触手可及,助您提高工作效率

RXW-12R物镜与孔径光阑采用全新的电动控制系统,其操作按键位于仪器正前方,让您触手可及。人性化的电动设计不仅避免了频繁的手动操作步骤,也使您的检测工作也更加精确、灵活。

l防震支架设计

机身由六端支架支撑,低重心、高稳定性全金属机架,具备强效的抗震功能,确保像质稳定。

l丰富的应用领域

RXW-12R集成了明场、暗场、偏光、DIC 等多种观察功能。 广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。

安装条件

 

主要参数

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒

无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版

物镜

无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X

无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X

转换器

明暗场六孔电动转换器,带 DIC 插槽

机架组

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统

透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm,微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统

载物台

右手位 14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 XY 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm

带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用)

电动平台

面积 495mmX641mm,移动范围 :306mmX306mm ;软件控制 XY 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台

照明系统

明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像附件

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组 ;高精度测微尺 DIC 组件

 

序号

 

 

图片链接

1

主机

1

 

2

目镜观察头

1

 

3

10X平场目镜

2

 

4

5X物镜

1

 

5

10X物镜

1

 

6

20X物镜

1

 

7

50X物镜

1

 

8

弹性夹

1

 

9

载物台板

1

 

10

LED灯箱

1

 

11

0.5X适配镜

1

 

15

电源线

1

 

序号

名称

功能类别

图片链接

1

 

 

 

2

 

 

 

 

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